KLA發布全新汽車產品組合 提高晶片良率及可靠性

美商科磊（KLA）公司今日宣布發布四款用於汽車晶片製造的新產品：8935高產能圖案晶圓檢測系統、C205寬帶等離子圖案晶圓檢測系統、Surfscan SP A2/A3無圖案晶圓檢測系統和I-PAT線上缺陷部件平均測試篩選解決方案。

KLA表示，汽車行業在密切關注電氣化、互聯性、高級駕駛輔助和自動駕駛等領域的創新。這意味著汽車需要更多的電子設備，因而需要更多的半導體晶片。由於晶片在車輛駕駛和安全應用中的核心地位，其可靠性至關重要，因此汽車晶片必須達到嚴格的品質標準。

KLA的新型Surfscan SP A2/A3、8935和C205檢測系統，以及創新的I-PAT線上篩選解決方案，都有利提高汽車晶片的良率和可靠性。

KLA半導體製程控制業務部總裁Ahmad Khan表示，今天的車輛包含數以千計的半導體晶片，用於感知周圍環境、做出駕駛決策和實施控制。這些晶片不能發生故障。

他強調，此一前提，促使晶片製造商遠在晶片集成至車輛中之前，就在晶圓廠內採取新策略用以發現並減少可靠性缺陷。KLA的新產品專為生產汽車晶片的晶圓廠量身定制，在晶片製造的源頭偵測潛在的可靠性缺陷，並為線上篩選提供創新的解決方案。這些努力將協助晶圓廠以高良率製造品質優良且高度可靠的晶片，同時最大限度地提高產量。

這三台新檢測儀構成了一個互補的缺陷發現、監控和控制解決方案，適用於汽車行業中較大設計節點的晶片製造。Surfscan SP A2/A3無圖案晶圓檢測儀結合了DUV光學系統和先進算法，讓系統的靈敏度和速度足以在汽車晶片上識別並消除可能產生可靠性問題的製程缺陷，也確保製程設備以最佳的性能運行。

對於研發和批量生產，C205圖案晶圓檢測儀採用了寬帶光照和 NanoPoint技術，因而使其對於關鍵缺陷高度靈敏，同時可以加快新製程和設備的優化。對於批量製造，8935圖案晶圓檢測儀採用新的光學技術和DefectWise AI解決方案，能夠以低噪比率捕獲各種關鍵缺陷，並快速準確地識別可能影響晶片最終品質的製程偏差。

I-PAT是一個運行於KLA檢測和資料分析系統中的創新線上篩選解決方案。I-PAT首先從包括8935或Puma 雷射光掃描檢測儀等在內的高速8系列檢測儀在關鍵製程步驟中採集的所有晶圓資料中提取缺陷特徵。然後，I-PAT利用 SPOT™量產平台上的定制機器學習算法和Klarity缺陷管理系統的統計分析功能來辨別異常的缺陷，從而可以從供應鏈中剔除有風險的晶片。

除了為汽車晶片製造開發量身定制的新產品外，KLA還繼續與汽車行業密切合作。從KLA加入為汽車行業的電子元件製定認證標準的汽車電子委員會(AEC)的成員，到公司在密歇根州安娜堡的第二總部，KLA致力於確保汽車行業實現嚴格的電子品質標準。