工研院 打造半導體碳化矽完整產業鏈

在經濟部支持下，工研院積極結合南部循環材料產業能量，於臺南建置「化合物半導體粉體製程及晶體驗證實驗室」，特別導入日本半導體化學材料大廠德山的粉體製程設備，結合工研院自主開發的粉體檢測平台，協助碳化矽長晶業者導入應用，希望吸引國內外業者加入，有望串起臺灣半導體碳化矽完整產業鏈。

全球5G、電動車等產業蔚為趨勢，化合物半導體因具備高功率、高頻且低耗電特色，成為提升產品效率的關鍵材料，其中材料更是半導體前端製程的關鍵！工研院建置此實驗室，提供粉體與長晶驗證平台，從碳、矽原料、石墨坩堝、與碳化矽粉體等進行品質分析與驗證測試，可望協助業界縮短驗證時程，提升技術，扮演化合物半導體在國內蓬勃發展的關鍵角色。

工研院材料與化工研究所徐煜翔經理表示，在政府「南方雨林計畫」-功率半導體已具初步成果，粉體到晶圓端製備，與周邊耗材驗證，譬如不同晶相BETA SiC、ALPHA SiC等皆有能力生產，粒徑也可調控以符合晶體成長業界之需求，此產品可應用於高頻5G通訊元件、工業元件等領域，目前化合物半導體已是市場焦點，建置此平台就是讓有意進入化合物半導體材料供應鏈的廠商，給予適度協助。常發生的是廠商發現商品可應用到此領域時，推廣產品往往會遇到業者不願意更改原製程如使用材料等種種問題而產生無力感！此時該平台就發揮功能，可提供現有產業穩定製程，替換材料改用廠商產品，實際測試後的數據給予認證，這樣的結果不但有利廠商推廣，產品可快速的導入下游的應用端。

另外，廠商不知道如何推廣產品，也可尋求工研院合作，院方累積了許多經驗，深知業者有何種需求，可針對需求整合串連上下游供應鏈的廠商，加快化合物半導體材料自主化的能力。

因為開發半導體材料先期投資可能上千萬或億元，對廠商來說是很大的成本支出，藉由此模式協助廠商不但提升技術，縮短製程時間，降低研發成本。站在工研院的角度，由政府來協助，幫助業者技術快速開發，分析、驗證、製程改善，最終把此技術移轉給業界，不但縮短研發過程，節省成本，當業界接受技術轉移，也就具備一定的知識能力，更容易朝高端產品的投入研發，因為半導體講究的是快速反應，藉由工研院的協助政府為後盾，產業發展朝向正能量發展。

目前工研院可提供的服務從原料端的檢測、製程改善、驗證端的粉體合成、晶體成長、後段的磊晶等，串連上中下游供應鏈、技術授權轉移給業界、讓業界能快速的投入，是產業跨入此領域最佳幫手。