型號 | JL-200 SCG | JL-300 SCG |
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加工能力 | ||
工作台直徑 | ɸ200 | ɸ300 |
機器配置 | 1支主軸 / 1個旋轉工作台 | 1支主軸 / 1個旋轉工作台 |
主軸 | ||
型式 | 氣靜壓主軸 | 氣靜壓主軸 |
主軸數量(mm) | 1 | 1 |
伺服馬達功率 | 3.7 kw | 15 kw |
刀具 | ψ250 (mm) 鑽石砂輪 | ψ350 (mm) 鑽石砂輪 |
主軸轉速(rpm) | Min1000 ~ Max 3000 rpm | Min1000 ~ Max 3000 rpm |
Z 軸 | ||
行程 | 100 mm | 200 mm |
進給解析度 | 0.1μm | 0.1μm |
最大快速移動速度 | 300 mm / min | 300 mm / min |
工作臺 | ||
行程 | 氣靜壓工作台 | 氣靜壓工作台 |
工作台數 | 1 | 1 |
最大轉速 | 500 rpm | 500 rpm |
工作台面積(mm) | φ200 mm | φ300 mm |
最大承載重量 | 15 kg | 20 kg |
尺寸 | ||
機器重量(Kgs) | 2000 | 3000 |
機器作業空間 (長×寬x高) | 1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm | 1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm |
加工精度 | ||
TTV 表面粗度 | 1.5 μmRa0.02μm(矽晶圓) | 1.5 μmRa0.02μm(矽晶圓) |
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