詳細規格及用途描述 用於監測裝備，測量裝備，工業計量，及位置編碼，依據不同的應用提供不同的產品類型。 精度等級 ± 0.1μm 測量步距 0.005 μm (5nm) 測量長度 100 mm 高測量精度 可以選擇自動測桿驅動 安裝簡單