真空手套箱

真空手套箱
于99年生产手套箱为全台第一家国产手套箱，并和国内外仪器商/设备商进行配合，客户群
国外:美国,墨西哥,香港,新加坡,中国大陆等航太与军规品制程手套箱
各式手套箱型式
1.手套箱(含纯化/再生系统)
2.单面操作型手套箱(含纯化/再生系统 H 2 O<1ppm(v))
3.层流式无水无氧气氛控制系统

手套箱介绍
[手套箱本体]
(1)手套箱外尺寸：1250L+1250L X 840D X 920Hmm,底部骨架附輪子与高低调整脚
(2)手套箱本体材质：不锈钢 SUS304, 厚度：3mm，手套箱内部抛光沙面,外部粉体烤漆处理
(3)手套箱工作气体：氮气,氩气,氦气惰性气体环境
(4)置物层板：不锈钢 SUS304, 厚度：1.5mm，二个(900L X 200Dmm)
(5)照明：外挂式日光灯 30W*2 二盏
(6)手套箱视窗：透明 Lexan 视窗,厚度：10mm
(7)手套固定环：白色 Polyformaldehyde 材质, Size：220mm diameter，O-ring sealed
(8)手套：Butyl 材质, 厚度 0.4mm,手套數量：2 双
(9)手套箱泄漏率：<0.05Vol%/h
[电控系统]
(1)电源：220V/60Hz,10A ,手套箱内部附 AC110V 电源插座一组
(2)系统控制：PLC 可程式控制器搭配 5.7 寸中英文触控人机介面操控及显示水氧浓度及手套箱压力值
(3)手套箱压力可自由设定,自动定压(0-16mbar)控制与脚踩加压/减压开关控制手套箱压力
[气体纯化/再生系统与气体管线]
(1)纯化系统：气体密闭回路循环除水与除氧系统
(2)手套箱气体经纯化系统处理后浓度：H 2 O<1ppm(v) , O 2 <1ppm(v)
(3)纯化器(含触媒)：材质为不锈钢 SUS 304，含加热器与保温,可重復再生使用
(4)再生控制：由 PLC 人机介面自动程式控制（自动/手动等再生操控模式）,纯化器再生之日期具记
忆功能，可显示于人机画面上
(5)再生气体：氮氢混合气 N 2 /H 2 mixture（H 2 ：3-5%）or 氮氩混合气 Ar/H 2 mixture（H 2 ：3-5%）
(6)冷却系统：冷却水流速 2-3 l/min(冰水机购方自备)
(7)纯化系统循环风車：气体循环流速 70 m 3 /h at P=60 mbar
(8)纯化系统阀件：采用 KF-40 真空用气动阀控制
(9)控制阀：电磁阀 3/8＂,PLC 控制
(10)纯化系统管线：不锈钢 SUS304 配管,Type KF-40 真空接头系统
(11)供气配管：不锈钢 3/8＂ 配管
(12)纯化循环系统泄漏率：<10 -5 mbar-l/s（Purifier Unit And Components）
[气体过濾系统]
手套箱内微尘过濾系统：圆型 HEPA FILTER(0.3μm)循环过濾手套箱内部微尘气体
[SOLVENT TRAP]
有机吸附器：含活性碳吸附剂 10KG,与管线手动切换阀 KF-40 三个手动阀及抽真空及压力平衡阀
[真空帮浦]
真空帮浦：排气量 12m 3 /h,兩段式油回转真空帮浦,真空度<3 x 10 -3 mbar,真空帮浦停止运转后本身具
有逆止功能(EDWARDS RV-12)
[Feedthroughs 孔]
手套箱后侧 Feedthroughs 孔：5 个, KF- 40
[传递箱]
(1)大传递箱：不锈钢 SUS304,厚度 2mm 圆柱型传递箱直径=390mm, 长度=600mm
内部抛光处理,外部粉体烤漆,经硬阳处理铝门盖,10mm 厚,内部附置物滑台
充油式真空表 1 个 ,真空阀：KF-25 气动阀 1 个,压力平衡阀 3/8＂电磁阀 1 个
大传递箱控制：内外门为手动操作,抽真空/压力平衡为 PLC 自动控制
(2)小传递箱：不锈钢 SUS 304,厚度 2mm,圆柱型传递箱 直径=150mm, 长度=300mm
充油式真空表 1 个 ,3/8＂抽真空/压力平衡为手动控制
(3)传递箱泄漏率：<10 -5 mbar-l/s
[水氧侦测仪]
(1)微量湿度分析仪：0-1000PPM(V)
(2)微氧分析仪：0-1000PPM(V)
[手套箱自动 PURGING 系统]
(9)手套箱 PURGING 系统,可自由设定水氧浓度值,浓度侦测全自动启动 PURGING 手套箱
(2)手套箱破大气后，启动 Purge 系统须能于 60 分钟内,自动快速 Purge 降至 100ppm 水氧浓度以下